pg电子官方网站这种5nm采用了完全不一样的技术路线,避开了EUV光刻机的依赖,采用一种步进扫描光刻机,通过多重曝光实现5nm线宽。
最新报道指出,还是这家5nm品牌,最近已经打算推出3nm工艺制程技术的AP(应用处理器),目标是在2025年问世。
该芯片采用全环绕栅极(Gate-All-Around,GAA)技术能有效降低电流泄漏并提升性能,是台积电、三星等在先进制程上采用的关键技术。
之前,他们就是采用了通过使用深紫外光(DUV)曝光机的多次曝光,来达成5nm制程的量产。
市场认为,在3nm米制程上也可能采取类似的方法。然而,相较于EUV,采用DUV的多次曝光方式会显著增加制程步骤,这不可避免地会导致良率和生产效率的下降。