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从布局光刻胶到进军光刻机“涨幅王”联合化学在下一盘大棋?

2025-07-12  

  pg电子官方网站对于联合化学来说,卓光芮的吸引力或在于其背后国产光刻机市场拥有的巨大潜力。

  光刻是一种图像复制技术,是集成电路制造工艺中至关重要的一环。简单来说,光刻是将掩模版上具有各种电子特性的电路图形,按比例精确微缩并曝光成像在晶圆上,完成集成电路工艺图形化转移的第一步。然而,作为实现光刻工艺的核心设备,光刻机国产化一直是“卡脖子”难题。

  卓光芮旗下拥有一家全资子公司罡景光学科技(上海)有限公司(下称“罡景光学”),该公司成立的时间更早(2023年6月2日),主营“投影式曝光机光学部件的研发、生产和销售”。

  据悉,投影式曝光机是光刻机的一种核心类型,而且是现代半导体制造中最主流、最核心的光刻机类型。

  天眼查APP显示,罡景光学2024年的参保人数共79人,旗下拥有一项发明专利为“一种基于晶圆预对准装置的预对准偏心校准方法、装置、设备及介质”。

  从公开的招聘信息来看,罡景光学“是一家专注于半导体光学业务的高科技公司,目前处于快速发展阶段”,正对包括光学结构设计工程师、控制算法工程师、光学测试工程师等多个职位进行招聘。

  让联合化学看中的,是标的公司“在投影式曝光机及精密光学领域的人员储备”。

  联合化学在公告中提到,卓光芮创始人兼技术负责人高安曾在国际半导体曝光设备龙头企业任职,具备国际先进的研发理念;各研发项目的负责人均具备五年以上相关领域的研发经验。

  在技术方面,标的公司具备从系统设计、光学选材、光学装调、光学测试等全流程研发经验,且已经实现产品销售;对于投影式曝光机整机集成,标的公司了解并掌握全流程千余个细分步骤,具备实操经验。

  联合化学回应称,实现销售产品为子公司罡景光学部分光学部件产品,公司本次投资款原则上投入罡景光学的资金不超过本次增资金额的20%。

从布局光刻胶到进军光刻机“涨幅王”联合化学在下一盘大棋?(图1)

  天眼查APP上,虽未找到创始人高安在半导体领域的相关从业履历,但在SEMICON China 2025(上海国际半导体展览会)官网上,一同样名为“高安”的发言者,其身份是源卓微纳科技(苏州)股份有限公司(下称“源卓微纳”)CTO。

  资料介绍,“高安2008年毕业于复旦大学微电子系,获学士学位;2014年获荷兰特温特大学应用物理学博士学位。2010年至2018年,就职于荷兰ASML公司,历任研究科学家、技术经理等职务,参与EUV和DUV光刻机的研发工作”。

  “2023年至今,高安担任源卓微纳CTO,专注于激光直写和投影光刻机的研发。高安在光刻技术的研究和应用方面拥有丰富的经验,尤其擅长光刻机的系统设计与集成技术、光电测量技术以及污染控制技术,拥有超过十项专利。”

  ASML是全球领先的半导体光刻设备制造商,其生产的光刻机在很长一段时间内几乎是光刻技术壁垒的象征,在高端光刻机市场占据垄断地位。

  联合化学证实,标的创始人高安确曾在ASML任职,具备国际先进的研发理念。另外,记者致电源卓微纳,对方也确认高安已从公司离职。

  有意思的是,透过天眼查股权关系穿透,还能够发现,此前已经进入备案辅导的源卓微纳与卓光芮拥有同一投资人——江苏高易创业投资管理有限公司,该公司成立于2020年,实控人李鸣昊持股32%。

从布局光刻胶到进军光刻机“涨幅王”联合化学在下一盘大棋?(图2)

  此前已经进入备案辅导的源卓微纳与卓光芮拥有同一投资人。来源:天眼查APP

  联合化学表示,本次投资资金主要用于支持标的公司开展国产投影式曝光机研发及相关零部件研制工作。

  1、本次投资认购款项到位后12个月内,若公司成功研发出α样机,则公司将通过增发方式给与核心团队3%的股权激励;

  2、本次投资认购款项到位后18个月内,若公司成功研发出β工程机,则公司将通过增发方式给与核心团队4%的股权激励;

  3、本次投资认购款项到位后24个月内,若公司成功研发出γ产品机,则公司将通过增发方式给与核心团队5%的股权激励。

  根据协议,若卓光芮及其直接或间接控制的企业在2030年12月31日前尚未进入IPO申报程序,则投资方有权以合理的价格收购其他股东所持有的目标公司股权。

从布局光刻胶到进军光刻机“涨幅王”联合化学在下一盘大棋?(图3)

  联合化学半年内累计涨幅高达440.88%,成为A股市场的涨幅王。来源:Choice

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