pg电子官方据彭博社新闻报道指出,美国华盛顿智库安全与技术中心发布专栏表示,尽管中国企业在芯片制造领域取得了显著的技术进步,但是在核心的光刻机产业上面,中国的国产设备依然要远差于荷兰的ASML与日本的尼康,这凸显出了光刻技术目前仍然是制约中国科技发展的第一技术难题。

在去年的9月份,我国工信部正式公开了我国最新研发的干式光刻机设备。该设备采用了193nm的激光波长、65nm分辨率、套刻精度≤8nm,与ASML在2005年所发布的1400i光刻机性能相近。
并且ASML在2015年发布了基于1400i优化过的1460k光刻机,这台设备的分辨率依然是65nm,但是其套刻精度来到了≤5nm,大幅度提升了良品率和产能。

套刻的精度数值相当于制程节点的1/3~1/4,如果要生产65nm的芯片,那么套刻精度就需要维持在≤16~22nm。如果要生产28nm的芯片,那么套刻精度需要维持在≤7~9nm。
显然,我国目前已经公布的光刻机设备,在多重曝光的技术下可以制造28nm芯片,并不能制造具有FinFET结构的14nm及以下的芯片产品。

从我国的自主设备技术上面来看,我国的光刻机产业与国外主流企业有着20多年的技术差距。但这是基于已经公布出来的产品所得出来的结论,不包括还未正式公布的相关设备。
ASML总裁范霍特,与公司的CTO马丁曾经在2018年和2019年来到中国进行技术访问。
二人与上海微电子公司的技术人员进行了交流,发现中国的光刻机产业还是存在诸多的技术瓶颈。光刻机设备是一个全球化分工的产品,需要集合国际范围内的企业进行联合攻关。但是中国企业现在无法与国际企业建立有效的合作渠道,这是最大的问题。

尽管受到了多方限制,但是中国企业依然在开发更加先进的浸润式系统。如果中国企业成功开发出拥有自主技术,并且可以投入生产线商用的浸润式光刻机,那么中国企业将会永久性解决在先进芯片上面受制于人的情况,甚至是替代现有的ASML进口设备。

受美国多年出口管制的影响,中国芯片企业无法获得来自于ASML的EUV设备,这极大阻碍了中国先进芯片产业的技术发展。
根据Techinsights的技术指出,该国产芯片具有7nm的工艺特性,尽管这款芯片在性能、能效、产能上面均没有明显优势,但是这款芯片是中国企业在受到美国制裁的前提下开发出来的产品。从技术角度来说,这刷新了自从Techinsights建立以来的一个技术新高峰。

美国华盛顿智库安全与技术中心通过Techinsights提交的相关数据得出结论,虽然中国的芯片产业突破了美国的技术封锁,实现了先进芯片的量产商用,但是在向下发展的过程中,受到了严重的阻碍。
截止到目前为止,中国大陆的芯片技术被卡死在了2023年发布的7nm制程。由于缺乏核心的EUV光刻机设备,中国的先进芯片发展陷入了死胡同。

想要脱离这个死胡同,要不就拿一个梯子(EUV光刻机)翻出去,要不就想办法把墙砸烂。很明显,梯子更方便,但是中国企业根本没有这个东西,只能尝试着砸墙。
观察者网旗下的心智对话栏目,就中国芯片产业的现状与荷兰半导体观察者马克·海金克进行了独家对话。

据海金克在节目中表示,中国芯片产业要想,光刻机是必须要面对的难题。
如果中国企业打算去效仿ASML的成功经验,在中国大陆复制一条ASML的光刻机产业线出来,这基本不可能。ASML在美国的帮助下,获得了全球范围内顶级的供应链支持,中国企业显然无法走这条路,只能是用国产供应链一步步去解决问题。
海金克曾经在个人作品当中明确表示:美国在全球范围内的出口管制,迫使中国企业采用本土的供应链来解决芯片问题,这给了中国本土企业一个前所未有的发展时机。在中国企业抱团发展的情况下,中国芯片产业终有一天会变得羽翼丰满,重塑一条中国芯片供应链。