PG平台电子国家知识产权局信息显示，苏州美芝恩电子科技有限公司申请一项名为“一种光刻机用硅片台驱动装置及方法”的专利，公开号CN121500693A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明涉及光刻机技术领域，具体公开了一种光刻机用硅片台驱动装置及方法，包括光刻机本体，所述光刻机本体的内部一侧开设有第一工作槽，所述第一工作槽的内部设有开关机构，将等离子清洁单元集成于光刻机本体内，通过等离子喷嘴对位硅片，低温等离子体可高效剥离0.2μm以上微小颗粒，清除率大大提升，同时，配套的废料收集机构通过支撑板两侧吸尘管形成环形吸附区，污染物经环形管、十字管汇集后，由导气滑座与导气滑块的密封结构导入吸尘机，单向阀防止回流，使二次污染率进一步降低，清洁与光刻单元同处封闭环境，彻底解决外部转运污染问题，显著提升硅片清洁质量并杜绝二次污染，有效降低光刻缺陷率。
天眼查资料显示，苏州美芝恩电子科技有限公司，成立于2018年，位于苏州市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本200万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州美芝恩电子科技有限公司参与招投标项目8次，专利信息19条，此外企业还拥有行政许可5个。
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