pg官方电子国家知识产权局信息显示，北京博视像元科技有限公司申请一项名为“一种用于评估不同光刻图形对准精确的方法及量测相机”的专利，公开号CN121500700A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明公开一种用于评估不同光刻图形对准精确的方法及量测相机，涉及光刻对准的量测相机领域，所述方法包括：获取包含至少两个不同工艺层对准标记的多模式光学测量图像；根据光学测量图像的形成过程建立一个参数化成像反演模型；以获取到的多模式光学测量图像为优化目标，执行参数化成像反演模型的迭代过程，得到最优的联合参数集；根据最优联合参数集确定不同工艺层之间的套刻误差，并将其作为评估结果进行输出。该方法显著降低了对标记图像质量的依赖，提高了套刻误差测量的准确性与鲁棒性，适用于先进工艺中复杂波动的实时监控与评估，为实现全自动化、高精度的光刻对准量测提供了可靠技术基础。
天眼查资料显示，北京博视像元科技有限公司，成立于2022年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1130.8159万人民币。通过天眼查大数据分析，北京博视像元科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目4次，财产线条，此外企业还拥有行政许可3个。
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